1、流量控制。
一些應(yīng)用程序使用具有恒定質(zhì)量流量的流量調(diào)節(jié)器長(zhǎng)時(shí)間。典型的例子包括人工氣氛的生產(chǎn),例如半導(dǎo)體制造在前端進(jìn)行涂層和在后端進(jìn)行鍵合所需的那些。這種類(lèi)型的負(fù)載對(duì)于壓電閥來(lái)說(shuō)很容易,因?yàn)樗婕耙粋€(gè)幾乎沒(méi)有能量消耗的穩(wěn)定狀態(tài)。但對(duì)于脈寬調(diào)制開(kāi)關(guān)閥來(lái)說(shuō),這將是一個(gè)極其沉重的負(fù)載無(wú)論是在能量方面還是在機(jī)械方面。
2、處理易碎工件。
移動(dòng)敏感工件的一種方法是雙作用氣缸的速度控制器。這使氣缸可以執(zhí)行速度控制的無(wú)沖擊運(yùn)動(dòng)。它需要四個(gè)壓電閥連接到一個(gè)控制器,形成一個(gè)可以連接到雙作用氣缸的系統(tǒng)。通過(guò)保持恒定的氣缸排氣流量來(lái)控制速度。這種低成本的系統(tǒng)不需要昂貴的位移編碼器,并且可以執(zhí)行平穩(wěn)的啟動(dòng)和制動(dòng)。
3、應(yīng)用粘合劑。
為了防止氣動(dòng)施加粘合劑后滴落,在施加預(yù)定量的膠水后施加真空。這在組裝小零件時(shí)需要計(jì)量。傳統(tǒng)的涂抹器通常需要兩個(gè)閥門(mén):一個(gè)用于施加真空,第二個(gè)用于施加正壓。壓電閥更準(zhǔn)確、更快、更高效,只需一個(gè)閥門(mén)即可控制壓力和真空。
4、拋光晶圓。
壓電閥非常準(zhǔn)確,可以快速達(dá)到預(yù)選的設(shè)定點(diǎn)。這使得它們非常適合需要精確計(jì)量少量空氣以精確加工工件的半導(dǎo)體應(yīng)用。例如,在拋光晶片時(shí),每個(gè)晶片必須以精確控制的壓力壓在旋轉(zhuǎn)的拋光臺(tái)上。在該過(guò)程的一個(gè)步驟中,用不同的力將幾個(gè)隔膜環(huán)壓在晶片上。這些環(huán)必須在真空和壓力方面進(jìn)行精確控制。壓電閥將這兩種功能結(jié)合在一個(gè)緊湊型閥門(mén)中。
5、醫(yī)用呼吸機(jī)。
用于醫(yī)療用途的移動(dòng)呼吸機(jī)必須輕便、緊湊,并且可以使用電池供電長(zhǎng)時(shí)間運(yùn)行。許多患者在睡覺(jué)時(shí)依靠這些裝置獲取氧氣,因此機(jī)器應(yīng)盡可能減少噪音。壓電閥已經(jīng)在這些機(jī)器中使用,因?yàn)樗鼈兙哂心陀眯?、?zhǔn)確性、小尺寸和功率需求以及安靜的操作。
6、外科眼科。
壓電閥控制用于白內(nèi)障手術(shù)的氣動(dòng)工具,這是最常見(jiàn)的外科手術(shù)之一。這項(xiàng)手術(shù)是治療白內(nèi)障、進(jìn)行性或與年齡相關(guān)的晶狀體混濁的唯一方法。在手術(shù)中,患者的渾濁晶狀體被移除并替換為人工人工晶狀體(IOL)。使用的手術(shù)工具是氣動(dòng)操作的。壓電閥控制壓力和真空,對(duì)于處理各種液體至關(guān)重要,包括房水(眼睛中的天然液體)和替代溶液(輸液)。更換房水時(shí),壓電閥可精確計(jì)量和調(diào)節(jié)流量。
7、汽車(chē)座椅舒適度。
壓電閥是一項(xiàng)艱巨的工作,它可以默默地填充和排空駕駛員和乘客下方的氣墊。這使乘坐更加舒適。內(nèi)置于座椅側(cè)板和靠背中的氣囊根據(jù)駕駛情況進(jìn)行填充。發(fā)送到各種充氣枕頭的氣壓變化取決于轉(zhuǎn)向角、橫向加速度和行駛速度。例如,該系統(tǒng)在左轉(zhuǎn)時(shí)更多地為靠背右側(cè)的氣室充氣。由于其特性清單,壓電閥正在新舊產(chǎn)品中找到新用途。