壓阻式傳感器是利用某些半導(dǎo)體材料受到機械應(yīng)力時電阻率的變化產(chǎn)生電子作用的器件。這種壓阻現(xiàn)象是基于這樣的事實,即當(dāng)受到壓力或應(yīng)力彎曲時,這些材料傾向于經(jīng)歷其潛在電阻特性的變化。這將導(dǎo)致通過設(shè)備的任何電流相應(yīng)地改變,這將被轉(zhuǎn)換成測量值或讀數(shù)。壓阻器件中常用的半導(dǎo)體材料通常與大多數(shù)電子元件中使用的基本金屬和硅樹脂相同。這些元件具有廣泛的靈敏度特性,可以滿足不同行業(yè)的要求。
當(dāng)一些半導(dǎo)體材料受到機械應(yīng)力時,它們的電阻率或抵抗電流的基本能力會發(fā)生變化。材料電阻特性的這種變化明顯地改變了其比電阻值。這將導(dǎo)致通過設(shè)備的任何電流上升或下降,然后用于指示或測量所涉及的應(yīng)力。通過使用壓阻效應(yīng)來記錄和測量應(yīng)力引起的力,例如加速度和壓力,制造了一系列對偏轉(zhuǎn)敏感的半導(dǎo)體器件。
這種傳感器通常由半導(dǎo)體襯底組成,例如鍺、多晶硅、非晶硅和單晶硅。一個典型的傳感器由一個壓敏半導(dǎo)體膜片和幾個n+和p+觸點組成。電流通過晶片的速度取決于其電阻。當(dāng)隔膜受壓時,電流傳輸和產(chǎn)生的讀數(shù)將根據(jù)組件中的電阻變化而不同。這些傳感器的復(fù)雜程度從范圍和溫度穩(wěn)定性有限的簡單變阻器到高度穩(wěn)定和精確的壓電FET不等。
壓阻傳感器用于涉及機械應(yīng)力測量的各種應(yīng)用中。汽車工業(yè)使用它們作為真空和壓力傳感器,或者指示石油和天然氣的水平。它們也用于醫(yī)療領(lǐng)域中的設(shè)備,例如血壓測量設(shè)備。深海潛水員使用的深度計也使用壓阻傳感器技術(shù)來產(chǎn)生精確的深度讀數(shù)。這些設(shè)備也用于飛機高度計和氣壓計。
這種類型的壓力相關(guān)傳感器也經(jīng)常用在使用電路和元件的電子測量儀器中,例如惠斯通電橋和雙極晶體管。用于測量位置方向、加速度和振動力的加速度計也使用壓阻傳感器技術(shù)來產(chǎn)生讀數(shù)。這項技術(shù)也進(jìn)入了家庭環(huán)境,許多洗碗機、吸塵器和洗衣機的制造商在他們的產(chǎn)品中使用這項技術(shù)。