目前電容式傳感器測(cè)量電路常用的有橋式電路、諧振電路、調(diào)頻電路、運(yùn)算放大電路、差分脈寬調(diào)制電路等。
1.橋式電路
2.諧振電路
電容傳感器的電容Cx充當(dāng)諧振回路(L2、C2、Cx)的調(diào)諧電容的一部分。諧振回路通過(guò)電感耦合從穩(wěn)定的高頻振蕩器獲得振蕩電壓。當(dāng)傳感器的電容發(fā)生變化時(shí),諧振電路的阻抗也隨之發(fā)生變化,轉(zhuǎn)化為電壓或電流,經(jīng)放大檢測(cè)后即可得到相應(yīng)的輸出。
3.調(diào)頻電路
4.運(yùn)算放大器電路
uy=-u0?(C0/Cx)=-u0(C0δ/ε0εrA)
輸出電壓與間隙成線性關(guān)系。
5.脈寬調(diào)制電路
U0=U1?(Δδ/δ0)
直流輸出電壓與輸入呈線性關(guān)系(間隙變化)。