薄膜式壓力傳感器的最大檢測壓力范圍取決于其設(shè)計和制造的具體參數(shù)和材料選擇。一般來說,薄膜式壓力傳感器的最大檢測壓力范圍通常是在傳感器規(guī)格說明中指定的。
對于普通的商業(yè)薄膜式壓力傳感器,其最大檢測壓力范圍通常在幾千帕(kPa)到幾百兆帕(MPa)之間。但也有專門設(shè)計用于高壓力范圍的薄膜式壓力傳感器,其最大檢測壓力范圍可以達到幾千兆帕(GPa)。
需要注意的是,傳感器的最大檢測壓力范圍并不意味著傳感器在整個壓力范圍內(nèi)都能提供相同的準確性和精度。傳感器的準確性和精度通常在其規(guī)格說明中給出,并且在最大檢測壓力范圍內(nèi)可能會有一些誤差或非線性特性。
因此,在選擇薄膜式壓力傳感器時,需要根據(jù)應(yīng)用的具體需求和工作條件來選擇適當?shù)膫鞲衅?,確保其最大檢測壓力范圍能夠滿足實際需求,并在這個范圍內(nèi)保持較高的準確性和精度。