半導(dǎo)體壓力傳感器是利用半導(dǎo)體的壓阻效應(yīng)制成的。半導(dǎo)體材料在受到外部壓力作用時(shí),其電阻值會(huì)發(fā)生變化,這種現(xiàn)象被稱為壓阻效應(yīng)。半導(dǎo)體壓力傳感器利用這一效應(yīng),通過測量電阻值的變化來推算出外部壓力的大小。
半導(dǎo)體壓力傳感器通常由敏感元件和信號(hào)處理電路組成。敏感元件一般采用壓阻效應(yīng)明顯的半導(dǎo)體材料制成,如硅、鍺等。當(dāng)敏感元件受到壓力作用時(shí),其電阻值發(fā)生變化,這個(gè)變化被信號(hào)處理電路轉(zhuǎn)換成電信號(hào)輸出,從而實(shí)現(xiàn)對(duì)壓力的測量。
半導(dǎo)體壓力傳感器具有靈敏度高、響應(yīng)速度快、功耗低、可靠性高等優(yōu)點(diǎn),因此被廣泛應(yīng)用于各種壓力測量和控制系統(tǒng)中,如汽車、航空航天、醫(yī)療、工業(yè)等領(lǐng)域。
總之,半導(dǎo)體壓力傳感器是利用半導(dǎo)體的壓阻效應(yīng)制成的,通過測量電阻值的變化來推算出外部壓力的大小,具有廣泛的應(yīng)用前景和發(fā)展空間。