電容位移傳感器作為一種非接觸式的精密測量儀器,憑借其無磨擦、無損磨、無惰性的特點(diǎn),以及信噪比大、靈敏度高、零漂小、頻響寬、非線性小、精度穩(wěn)定性好、抗電磁干擾能力強(qiáng)等諸多優(yōu)點(diǎn),成為了科研、教學(xué)和生產(chǎn)中不可或缺的測試工具。
電容位移傳感器主要有以下幾種類型:
?。?)平板電容傳感器:由兩個平行金屬板構(gòu)成,當(dāng)被測物體移動時,兩金屬板之間的電容值發(fā)生變化,從而實(shí)現(xiàn)位移測量。
?。?)空氣電容傳感器:利用測量被測物體與傳感器之間的空氣電容變化來實(shí)現(xiàn)位移測量。
?。?)彈性電容傳感器:結(jié)合彈性材料和電容傳感器原理,可以實(shí)現(xiàn)對彈性體變形的測量。
?。?)壓電電容傳感器:結(jié)合壓電效應(yīng)和電容傳感器原理,可以實(shí)現(xiàn)對壓力和位移的測量。