有幾種類型的壓電電機(jī)可以提供線性運(yùn)動，其中使用最廣泛的一種是線性步進(jìn)壓電電機(jī)。這些設(shè)備利用多個壓電元件的協(xié)調(diào)運(yùn)動，以高分辨率和非常高的剛度產(chǎn)生幾乎無限的行程。

　　線性步進(jìn)壓電電機(jī)的性能特點(diǎn)：

　　由于線性步進(jìn)壓電電機(jī)使用摩擦力來移動驅(qū)動桿或轉(zhuǎn)輪，因此不需要機(jī)械元件并且沒有間隙，因此可以實(shí)現(xiàn)納米級（在某些情況下，皮米級）范圍內(nèi)的分辨率。多個壓電元件的使用使線性步進(jìn)器具有非常好的剛度和高保持力，使其在斷電時能夠自鎖。

　　線性步進(jìn)設(shè)計(jì)可以以非常慢或非常快的速度運(yùn)行，最大速度高達(dá)15 mm/s。雖然可以進(jìn)行無限運(yùn)動，但驅(qū)動桿或轉(zhuǎn)輪的長度決定了行程，通常在幾厘米的范圍內(nèi)，盡管在某些設(shè)計(jì)中最大行程可達(dá)10厘米。

　　與其他壓電電機(jī)一樣，線性步進(jìn)器是非磁性的，因此它們可以用于有磁場的應(yīng)用中，并且它們本質(zhì)上是真空兼容的。

　　線性步進(jìn)壓電電機(jī)的應(yīng)用：

　　線性步進(jìn)設(shè)計(jì)的行走運(yùn)動使其成為需要長行程的壓電應(yīng)用的最佳選擇。這與它們的無間隙運(yùn)動相結(jié)合，為它們在掃描和顯微鏡應(yīng)用以及半導(dǎo)體光刻設(shè)備中驅(qū)動線性平臺提供了理想的特性。由于其極高的分辨率，線性步進(jìn)壓電電機(jī)可用于納升分配和醫(yī)療設(shè)備或樣品的定位。